萬級集成電路無塵車間設(shè)計要求及費用報價清單

前言

中國大力支持半導(dǎo)體材料的發(fā)展趨勢，半導(dǎo)體器件的純化是半導(dǎo)體元件發(fā)展趨勢的主要基礎(chǔ)。由于集成電路工藝集成電路的規(guī)模和技術(shù)規(guī)定，為了獲得高純度的光伏材料，原材料和中間載體的高純度和生產(chǎn)工藝的潔凈度已成為危害產(chǎn)品質(zhì)量的突出問題。自20世紀(jì)50年代以來，芯片可能經(jīng)歷了三個發(fā)展趨勢：在美國創(chuàng)造發(fā)明和起源——加速日本的發(fā)展趨勢——在韓國和中國臺灣的完美分裂。前兩個半導(dǎo)體行業(yè)之所以遷移，是因為日本在PCDRAM銷售市場上得到了美國的認(rèn)可；韓國已成為PCDRAM的新的關(guān)鍵運營商，中國臺灣已成為鑄造行業(yè)，芯片密封行業(yè)已成為OEM生產(chǎn)的領(lǐng)導(dǎo)者?，F(xiàn)在，中國已經(jīng)成為世界上擁有大型半導(dǎo)體材料的銷售市場。在當(dāng)前強勁的需求和強大的政策的推動下，芯片領(lǐng)域正在向內(nèi)地轉(zhuǎn)移集成電路芯片的合格率與芯片的相對密度有關(guān)，芯片的相對密度與空氣中顆粒的數(shù)量有關(guān)。因此，集成電路的快速發(fā)展趨勢不僅對空氣中顆粒的規(guī)格和尺寸有較高的規(guī)定，而且需要對集成電路工作環(huán)境的工作環(huán)境進行進一步的操作。

工程介紹

10000級集成電路無塵車間是滿足半導(dǎo)體制造工藝要求的潔凈室。與其他工業(yè)清潔車間相比，對環(huán)境清潔度、溫度和濕度、振動、ESD和AMC控制的要求更為嚴(yán)格。一般來說，電子集成電路無塵車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度應(yīng)控制在50-60%之間（特殊無塵車間有相關(guān)的溫濕度規(guī)定）。此時，靜電可以有效消除，人們可以感到舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室、磁盤制造車間是電子制造業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于電子產(chǎn)品的制造，在生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量有著極其嚴(yán)格的要求，主要是控制顆粒和浮塵，并對其環(huán)境的溫度、濕度、新鮮空氣量和噪聲作出了嚴(yán)格的規(guī)定。今天，讓我們來談?wù)劶呻娐窡o塵車間的規(guī)劃設(shè)計。

一  萬級集成電路無塵車間凈化參數(shù)要求

1.潔凈度：萬級
2.換氣次數(shù)：≥20次   
3.平均風(fēng)速： 0.3—0.5米每秒
4.溫度：22℃左右
5.相對濕度：50-60%
6.噪聲級（空態(tài)）：不應(yīng)大于65dB(A)
7.萬級集成電路無塵車間垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了
8.萬級集成電路潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa 
9.萬級集成電路無塵車間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值
10.補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和
11.保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3

二.萬級集成電路無塵車間消防工程

1.萬級集成電路無塵車間應(yīng)專門設(shè)計，主體建筑應(yīng)為一、二級耐火等級；吊頂、隔墻等構(gòu)件及保溫、保溫、裝飾材料應(yīng)盡量采用不燃材料或防火材料。

2.其他建筑改造為萬級集成電路無塵車間的，也應(yīng)當(dāng)經(jīng)公安消防部門專門設(shè)計和審核。一般不得破壞原防火分離、新保溫、保溫、分離等材料和裝飾材料，盡量不使用可燃材料，如需使用，應(yīng)進行防火處理。

3.為防止火災(zāi)和燃燒，便于疏散和搶救，防火墻之間的最大允許面積、防火分離和疏散路線一般應(yīng)比其他建筑有更高的要求。出入口或拐角處應(yīng)有緊急照明燈。

4.明火加熱不得用于電子光學(xué)無塵車間。電加熱必須關(guān)閉，加熱溫度必須嚴(yán)格控制。各種加熱裝置應(yīng)安裝在不燃底座上。

5.萬級集成電路無塵車間有易燃易爆物品，電氣應(yīng)符合防爆要求；電氣敷設(shè)和安裝應(yīng)嚴(yán)格要求，暗敷電線不得有接頭。電氣設(shè)備應(yīng)經(jīng)常維護，使用后應(yīng)及時切斷電源。對于需要長時間打開的電氣設(shè)備，應(yīng)在下班后進行巡邏檢查。

6.萬級集成電路無塵車間易燃易爆物品僅限于值班用量。下班后，剩余易燃易爆物品應(yīng)存放在其他安全場所。

7.使用易燃液體和氣體的萬級集成電路無塵車間應(yīng)安裝排氣設(shè)備，操作臺應(yīng)配備獨立的排氣裝置。易燃液體蒸汽和氣體的排氣管應(yīng)與排氣系統(tǒng)分開。

8.萬級集成電路無塵車間的排氣系統(tǒng)。應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或封閉閥。防火閥必須設(shè)置在通過地板和風(fēng)管穿過防火墻的總風(fēng)管上。

9.萬級集成電路無塵車間應(yīng)有相對完善的消防設(shè)施。消防報警裝置和自動滅火設(shè)施應(yīng)設(shè)置在凈化車間和技術(shù)管道層。根據(jù)工藝生產(chǎn)的特點和要求、可燃材料的種類和數(shù)量、建筑的耐火等級等因素，配備必要的滅火設(shè)備。有價值、高精度儀器和電氣設(shè)備的潔凈室應(yīng)配備二氧化碳、鹵代烷或噴水滅火裝置。走廊上還應(yīng)設(shè)置緊急報警按鈕和電話號碼。

濕度控制是集成電路無塵車間的核心技術(shù)指標(biāo)，與集成電路無塵車間的生產(chǎn)質(zhì)量有關(guān)，與集成電路無塵車間的生活有關(guān)。目前，集成電路無塵車間在濕度控制中，更常用的是工業(yè)加濕器，以實現(xiàn)對濕度的智能控制。例如，高壓微霧加濕器。干霧加濕器將根據(jù)不同電子工廠的濕度要求，提供簡單有效的解決方案，實現(xiàn)快速加濕和靜電去除。同時，工業(yè)加濕器具有四個特點：一是智能控制，簡單方便。第二，霧化顆粒小，加濕快，蒸發(fā)快，不會弄濕設(shè)備。員工。第三，它配備了一個缺水和斷電的保護裝置。第四，可以是手動的。自動的。遠(yuǎn)程操作，也可以通過時間。濕度。紅外線等控制。工業(yè)加濕器已經(jīng)為全國許多電子工廠提供了良好的加濕和靜電去除服務(wù)，實現(xiàn)了對集成電路無塵車間濕度的有效控制。

安裝和使用無塵車間加濕器的注意事項：

1.輸水管道應(yīng)選用耐高壓管道，禁止使用普通管道，不能承受高壓。

2.設(shè)備的安裝首先要確定型號、數(shù)量、安裝位置、管道方向。

3.安裝時要注意離車間頂部0.5米，離地面也要有2.5米左右，可以提高噴霧效果。

4.噴嘴周圍沒有阻擋噴霧的障礙物。

5.管道設(shè)備在安裝過程中，避免漏水，影響噴霧。

6.噴嘴安裝間隔一般為1米。

7.確定過濾裝置。軟水裝置安裝正確，使用正常。

四.萬級集成電路無塵車間費用報價清單

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