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日本潔凈室標準 JIS B 9920潔凈度等級表

來源:http://ih9u807.cn/ 作者:DEIIANG得創(chuàng) 發(fā)布時間:2018-04-24 09:54

無塵室的應用,大致可分為二類,即工業(yè)用無塵室〈Industrial Clean Room〉簡稱ICR ,和生化及醫(yī)藥用無塵室〈Biological Clean Room〉簡稱 BCR。                            
在工業(yè)用無塵室其清凈度規(guī)格方面,有美國聯(lián)邦標準規(guī)格 FS209E〈U.S Federal Standard 209E〉及日本國家標準 JIS B 9920 等多種參考規(guī)范。
在生化、醫(yī)藥用無菌室其要求規(guī)格有美國航空太空總署〈NASA〉規(guī)范〈NHB 5340.2〉最為普遍。無塵室的設(shè)計通常依照使用需求情況加以檢討再決定采用何種規(guī)范作為基準。
 
JIS B 9920標準無塵等級的濃度上限 (pcs/m3) 

粒徑 無塵等級
(μm) class 1 class 2 class 3 class 4 class 5 class 6 class 7 class 8
0.1 101 102 103 104 105 (106) (107) (108)
0.2 2 24 236 2360 23600 ???? ???? ????
0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000
0.5 (35) (0.3) 35 350 3500 55000 350000 3500000
5 ???? ???? ???? ???? 29 290 2900 29000
無塵等級 0.1~0.3 0.1~0.5 0.1~5.0 0.3~5.0
粒徑范圍
附注 1 第3A5,6,7和8級相當于美國聯(lián)邦標準209D(無塵室和控制環(huán)境的工作站)相對的第1,100,1000,10000和100000。
2 濃度的上限代表等于或大于指定顆粒大小的灑度。
3 濃度的上限是指顆粒大小為0.1μm和0.5μm的量。
4 在括弧中的數(shù)字是指顆粒大小不同民指定大小的量,它們只供評估無塵等級和只當參考用而已。
 

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